So würde ich auch vorgehen !
Du könntest sicherlich auf den alten Dielen direkt das Estrichelement legen (mit ggf Ausgleichschüttung).
Aber besser ist es vllt Boden aufnehmen dazwischen vollflächig ausdämmen, Höhen ausgleichgen, dann Rauspund, OSB oder ähnliches drauf. Danach dann...